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高頻表面壓力傳感器無法避免的四個誤差分別是什么?

更新時間:2022-03-15 點擊量:1704
  高頻表面壓力傳感器工作原理:外部引入的壓力或差壓將使傳感器電容值發(fā)生變化,經(jīng)數(shù)字信號轉(zhuǎn)換,變?yōu)轭l率信號送到微處理器,微處理器運算后輸出一個電流控制信號送到電流控制電路,轉(zhuǎn)化為4-20mA模擬電流輸出,同時微處理器負責交互等操作(顯示和設(shè)定)。其損壞都是由于其安裝位置不恰當而引起的,如果將傳感器強行安裝在過小的孔或形狀不規(guī)則的孔中,就有可能造成傳感器的震動膜受到?jīng)_擊而損壞,選擇合適的工具加工安裝孔,有利于控制安裝孔的尺寸,另外,合適的安裝扭矩有利于形成良好的密封,但是如果安裝扭矩過高就容易引起高溫熔體壓力傳感器的滑脫,為防止這種現(xiàn)象發(fā)生,通常在傳感器安裝之前在其螺紋部分上涂抹防脫化合物。
  高頻表面壓力傳感器無法避免的四個誤差分別是什么?
  一、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
  二、靈敏度誤差:產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。
  三、偏移量誤差:由于賀德克HYDAC壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
  四、線性誤差:這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線稱重傳感器。


高頻表面壓力傳感器

 

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